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射频分子束外延生长AlInGaN四元合金

王保柱 , 王晓亮

无机材料学报 doi:10.3724/sp.j.1077.2009.00559

利用射频等离子体辅助分子束外延(RF-MBE)技术在蓝宝石衬底上外延了铝铟镓氮(AlInGaN)四元合金,通过改变Al源的束流生长了不同组分的AlInGaN四元合金,材料生长过程中采用反射式高能电子衍射(RHEED)进行了在位检测. 通过扫描电镜(SEM)、卢瑟福背散射(RBS)、X射线衍射(XRD)和阴极荧光(CL)等测试手段表征了AlInGaN四元合金的结构和光学特性. 研究结果表明:在GaN层上生长AlInGaN外延层时,外延膜呈二维生长;当铝炉的温度为920℃时,外延AlInGaN四元合金外延薄膜中Al/In接近4.7,X射线衍射摇摆曲线的半高宽最小为5arcmin,四元合金的阴极荧光发光峰的半高宽为25nm,AlInGaN四元合金外延层具有较好的晶体质量和光学质量.

关键词: 铝铟镓氮 , RF-MBE , structural properties , optical properties

纳米Cu2O/Ag/TiO2三层复合薄膜的结构及性能

刘一鸣 , 张王刚 , 梁伟 , 王红霞 , 余彬

稀有金属材料与工程

通过磁控溅射方法制备了一种新颖的纳米Cu2O/Ag/TiO2三层复合薄膜.用X射线衍射(XRD)仪、扫描电子显微镜(SEM)、紫外可见分光光谱仪(Uv-vis)和荧光光谱仪(FLO)对薄膜的晶体结构、表面形貌、光学性能及Ag金属中间层的存在对复合薄膜的影响进行了分析.此外,对薄膜光催化性能的研究表明,插入Ag层的纳米Cu2O/Ag/TiO2三层复合薄膜显示出远高于Cu2O/TiO2双层复合薄膜的可见光催化活性.催化性能的提高归因于Ag金属中间层的存在,提高了三层复合薄膜的可见光吸收强度,增加了表面积,促进了激发电子的转移及光生电子和空穴的分离.

关键词: Cu2O/Ag/TiO2 , 结构性能 , 光催化性能

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