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金刚石涂层用低钴硬质合金基体表面二步浸蚀法的研究

刘沙 , 易丹青 , 余志明 , 卢斌 , 王建华 , 李泳侠 , 邹丹

稀有金属材料与工程

研究了先用Murakami剂浸蚀WC相、再用(H2O2+H2SO4)酸混合液除去Co相的2步法浸蚀YG6硬质合金基体表面预处理的过程; 并在浸蚀过的硬质合金基体上, 用热丝法沉积了金刚石薄膜. 结果表明: 2步浸蚀法可在基体表面深度为6 μm~12 μm的范围内, 使Co含量从6%降低到0.54%~3.22%, 并使硬质合金基体的表面粗糙度增加到Ra=1.0 μm, 但会导致硬质合金基体表面的硬度从89.9 HRA降低至88.1 HRA; 在该硬质合金基体沉积金刚石薄膜之后, 发现金刚石薄膜试样的组织结构具有明显的{111}面取向, 金刚石涂层与硬质合金基体具有较高的粘结强度.

关键词: 2步浸蚀法 , 表面预处理 , 硬质合金 , 金刚石涂层

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