左娟
材料导报
为了防止活性等离子体对下层银膜的破坏,采用多晶TiO2半导体烧结靶,使用射频磁控溅射方法在纯氩等离子气氛中制备了大面积均匀的TiO2、Ag@TiO2薄膜.为了了解其结构与电子和光学特性间的相互作用,对TiO2和TiO2/Ag/TiO2样品的制备参数(如射频功率、总压和直流电压的共同影响)进行了研究.采用掠入射X射线衍射、紫外可见吸收、拉曼光谱等技术研究了根据其结构调整光学性能的可能性.结果显示,沉积的TiO2薄膜具有与在氩气和氧气混合气氛中沉积所得薄膜相似的形貌、电子和光学特性、能隙带宽和晶相；且所制备的Ag@TiO2薄膜银具有可逆的光致变色特性,可作为智能窗、多波长光存储器和可擦写高密度电子纸使用.
关键词:
Ag@TiO2
,
纳米复合膜
,
射频磁控溅射
,
光致变色
