吕珺
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周丽萍
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汪冬梅
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吴玉程
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郑治祥
材料热处理学报
通过溶胶-凝胶法制备了不同Al-F掺杂浓度的ZnO薄膜,研究了薄膜的晶体结构、表面形貌、电阻率和透光性随着掺杂浓度的变化情况.结果表明:制备的ZnO:F:Al薄膜具有高度的C轴择优取向性,薄膜表面平整、晶粒均匀致密.当Al3+和F-的掺杂浓度皆为0.75at%时,薄膜的平均品粒尺寸最大为43.8nm;导电性能最好,电阻率可低至1.02×10-2Ω·cm;在可见光范围内薄膜的平均透过率超过90%,吸收边出现明显的蓝移现象.
关键词:
ZnO薄膜
,
溶胶-凝胶
,
Al-F共掺杂
,
掺杂浓度
,
光电性能
