陈金菊
,
冯哲圣
,
郭洪蕾
,
杨邦朝
材料工程
doi:10.3969/j.issn.1001-4381.2006.02.014
用水解沉积-阳极氧化法制备高介电常数的Al-Ti复合氧化膜,通过XPS分析Al-Ti复合氧化膜的成分及各元素的相对含量.监测铝电极箔恒电流阳极氧化过程中的升压曲线,对复合氧化膜的介电常数进行理论计算,并测试铝电解电容器的容量及耐久性.结果表明:铝电极箔在含钛无机盐溶液中的最佳处理时间为10min,处理后的铝电极箔阳极氧化速率高于纯铝电极箔,Al-Ti复合氧化膜中的高介电常数相为TiO2.对16V/1000μF规格的铝电解电容器,形成Al-Ti复合氧化膜的样品,容量提高率为23%,且耐久性良好,复合氧化膜介电常数的理论计算值与实验结果较为一致.
关键词:
铝电极箔
,
水解沉积
,
阳极氧化
,
高介电常数
,
Al-Ti复合氧化膜
陈金菊
,
顾德恩
,
冯哲圣
,
杨邦朝
功能材料
通过含钛无机盐的水解沉积及高温热处理,铝电极箔表面形成高介电常数氧化物--TiO2膜层,然后在己二酸铵溶液中恒电流阳极氧化,形成Al-Ti复合氧化膜.AFM观测了含钛无机盐水解沉积过程中,铝电极箔表面形貌的变化.在铬酸和磷酸的混合溶液中测试了氧化膜的耐电压随溶解时间的变化.通过SIMS检测了复合氧化膜中Al3+、Ti4+的强度随溅射时间的变化.膜溶解试验及SIMS检测结果表明Al-Ti复合氧化膜由3层组成,外层和中间层为Al、Ti、O不同配比的混合物,内层则为纯的A12O3.铝电极箔比容随氧化膜耐电压的变化关系曲线表明,60V耐电压下,Al-Ti复合氧化膜的比容提高率为51%.
关键词:
铝电极箔
,
水解沉积
,
阳极氧化
,
Al-Ti复合氧化膜
,
TiO2
