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电沉积Al/Fe/Cu多层薄膜的固态扩散研究

李小凡 , 王玲玲 , 黄维清 , 李绍禄 , 李德意

电镀与涂饰 doi:10.3969/j.issn.1004-227X.2003.05.005

采用AlCl3-NaCl熔融盐镀铝、FeSO4溶液镀铁、CuSO4溶液镀铜得到了结构完整、界面清晰的Al/Fe/Cu多层薄膜.研究了电流密度、时间、温度对镀铝层性能及电流效率的影响.采用X-射线衍射仪对该多层薄膜热处理前后进行了表征,并用金相显微镜对其结构与形貌进行了分析.结果表明,该多层薄膜致密均匀且各层之间结合力良好;通过热处理后得到了一面心立方结构的新相,该新相基本结构与Cu大致相同,且多层薄膜中铁铜质量比越低,越有利于该新相的生成.

关键词: 电沉积 , Al/Fe/Cu多层薄膜 , 固态扩散

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