盖红星
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邓军
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廉鹏
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俞波
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李建军
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韩军
,
陈建新
,
沈光地
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2006.03.009
应用金属有机化合物气相淀积(MOCVD)制备了具有渐变层的半导体布拉格反射镜(DBR),分别是抛物线性、线性和突变结构的DBR.三种反射镜结构都设计为8个周期,通过白光反射谱测量突变DBR具有最大反射率.应用原子力显微镜对所制备的DBR表面形貌进行分析.结果表明,相同周期数情况下线性渐变DBR相对于其他两种结构粗糙度最小,具有良好的表面形貌,可以应用于垂直腔面发射激光器的研制.
关键词:
布拉格反射镜
,
金属有机化合物气相淀积
,
原子力显微镜
,
AlGaAs
