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AlN压电薄膜材料研究进展

许小红 , 武海顺 , 张富强 , 段静芳 , 李佐宜

稀有金属材料与工程

AlN压电薄膜材料具有许多优异的物理化学性质,本文对该薄膜材料的发展,结构特征,制备方法进行了综述,并对其应用前景进行了展望.

关键词: AlN压电薄膜 , 结构 , 制备 , 应用