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溅射AlY涂层对Ni基合金氧化行为的影响

付广艳 , 孟德松 , 苏勇 , 祁泽艳 , 李雨莎

稀有金属材料与工程

为了研究溅射AlY涂层对合金高温氧化行为的影响,在某镍基合金表面上采用磁控溅射方法制备了AlY涂层,并研究了无涂层镍基合金、溅射AlY涂层的镍基合金以及经过预氧化的溅射AlY涂层镍基合金在1100℃空气中的氧化行为.结果表明,无涂层镍基合金形成了疏松、不完整的Al2O3、Cr2O3以及NiO的混合氧化膜,且发生了内氧化;溅射AlY涂层镍基合金形成了均一的α-Al2O3膜,比表面裸露的镍基合金具有更好的抗氧化性能.溅射AlY涂层试样经预氧化后在试样表面优先形成了保护性y-Al2O3膜,高温氧化时转变为致密的α-Al2O3膜,因此可进一步提高其抗氧化性能.稀土元素Y改善了Al2O3膜与基体的粘附性,提高合金的抗氧化性能.讨论了氧化膜的形成机理.

关键词: 磁控溅射 , AlY涂层 , 抗氧化性能 , 预氧化

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