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Au/NiCr/Ta多层金属膜的表面粗糙度和纳米压入硬度的研究

唐武 , 徐可为 , 王平 , 李弦

金属学报

采用磁控溅射方法在Si-(111)基片上沉积 Au/NiCr/Ta多层金属膜利用XRD分析晶体取向,SEM观察表面和断面形貌,AFM研究表面粗糙度,纳米压入研究薄膜硬度.结果表明薄膜表面粗糙度依赖于基体沉积温度,并且影响薄膜电阻和纳米硬度.

关键词: Au/NiCr/Ta多层膜 , null , null

Au/NiCr/Ta多层金属膜的表面粗糙度和纳米压入硬度的研究

唐武 , 徐可为 , 王平 , 李弦

金属学报 doi:10.3321/j.issn:0412-1961.2002.05.001

采用磁控溅射方法在Si-(111)基片上沉积 Au/NiCr/Ta多层金属膜利用XRD分析晶体取向,SEM观察表面和断面形貌,AFM研究表面粗糙度,纳米压入研究薄膜硬度.结果表明薄膜表面粗糙度依赖于基体沉积温度,并且影响薄膜电阻和纳米硬度.

关键词: Au/NiCr/Ta多层膜 , 表面粗糙度 , 纳米压入

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