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钼酸铋薄膜的化学溶液制备技术及其性能表征

郭吾卿 , 余萍 , 肖定全 , 胡国兵 , 田云飞 , 刘洋

稀有金属材料与工程

使用化学溶液制各技术在硅(100)衬底上制备出符合化学计量比的钼酸铋(α相)薄膜.采用X射线衍射(XRD)分析的研究结果表明,所制备的薄膜具有单一的单斜晶相结构:利用原子力显微镜(AFM)对其表面形貌进行表征,验证了实验过程中溶剂的改变对薄膜结构和表面形貌产生的影响;使用荧光发射仪研究了薄膜在室温下的发光特性.结果表明,通过化学溶液制备技术可以制备出具有单一晶相的钼酸铋(α相)薄膜,该薄膜具有良好的光致发光特性.

关键词: Bi2(MoO4)3薄膜 , 化学溶液工艺 , 钼酸盐

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