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紫外光辐照Bi_(4-x)Nd_xTi_3O_(12)薄膜制备工艺

肖立华 , 王文 , 孟庆昌 , 柯华 , 贾德昌 , 周玉

稀有金属材料与工程

以Pt(111)/Ti/SiO_2/Si为基片,采用溶胶凝胶法,通过紫外光辐照钕掺杂钛酸铋(Bi_(4-x)Nd_xTi_3O_(12), x=0.25, 0.75)胶体,分别采用电泳沉积和甩胶沉积制备薄膜,并对比了制备的薄膜质量.通过差热-热重分析(DSC-TG)、X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)等技术手段对Sol-Gel法制备的BNT薄膜进行了表征.研究结果表明,经紫外光辐照和电泳沉积制备的Bi_(4-x)Nd_xTi_3O_(12) (x=0.25, 0.75) 薄膜于300 ℃煅烧有机物,500 ℃随炉热处理,可得到均匀致密且(117)择优取向的钙钛矿相BNT薄膜.

关键词: Bi_(4-x)Nd_xTi_3O_(12)薄膜 , 溶胶-凝胶 , 紫外光辐照

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