吴明智
,
金成刚
,
王飞
,
黄天源
,
吴雪梅
,
诸葛兰剑
功能材料
室温下,采用射频磁控溅射方法在石英基片上制备掺铝氧化锌(AZO)透明导电薄膜.利用CCP/ICP混合放电C4F8/Ar等离子体对制得的AZO薄膜进行绒面处理.利用原子力显微镜(AFM)对薄膜表面形貌进行表征,利用光纤光谱仪分析放电产生的碳氟基团含量的变化.实验结果发现低频功率的增大能够有效增加等离子体中F原子的含量,进而提高薄膜的刻蚀效果,获得较好的绒面结构；但是高频功率变化对薄膜刻蚀效果影响较小.
关键词:
AZO
,
CCP/ICP
,
绒面结构
,
发射光谱
