材料导报
利用直流磁控反应溅射法在Ar和O2气氛中从Cd-In合金靶上制备了三元化合物CdIn2O1薄膜(CIO),研究了不同氧浓度、基片温度和退火处理对CIO薄膜的透光率的影响以及由温差所产生的Seebeck效应,结果表明:氧浓度、基片温度越高,透光率越高;退火处理进一步提高了透光率,在可见光区域内膜的最高透光率高达95%.研究还发现,CIO薄膜的Seebeck效应非常的明显,温差电动势率最高值达0.16mV/K,这在实际应用方面有参考价值.
关键词:
CIO薄膜
,
透光率
,
Seebeck效应
,
磁控溅射
,
温差电动势率
郎野
,
胡礼中
,
长贺秋
,
宁志敏
,
杜建锋
,
高卓
兵器材料科学与工程
doi:33-1331/TJ.20120302.1649.005
随着侦察及动态跟踪技术的飞跃发展和广泛应用,使战场的单向或双向透明度增大.如果不综合运用光电对抗技术,将难以对付红外、激光、雷达等侦察或制导.透明导电薄膜CIO(CdIn2O4)是一种高性能半导体材料,通过调节掺杂浓度,可实现红外波段的高反射性及可见光波段的高透过性.但由于CIO薄膜体系的复杂性和纯CIO薄膜的大面积制备尚没有完全解决,严重阻碍了它在光电对抗、红外防护等方面的实际应用.综述CIO薄膜的多种制备方法以及各自的优缺点,并着重介绍CIO薄膜在抗红外领域的应用.
关键词:
CIO薄膜
,
红外
,
透光率
,
高反射
