吕延伟
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于晓东
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谭成文
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孙铁峰
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马昆松
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才鸿年
稀有金属材料与工程
采用冷壁化学气相沉积系统,利用H2还原WF6工艺,在纯铜管表面制备获得了高纯钨材料.在440℃沉积温度下,得到具有混合相的钨管,其压缩性能远低于在540℃条件下得到的只具有α相的钨管.由此表明,β-W的出现极大地降低了钨管的压缩性能在400℃条件下,对具有混合相的钨管进行1h保护气氛退火后,钨管材料中的β相消失,同时其压缩性能与只具有α相的沉积态钨管相近.
关键词:
CVD钨
,
相成分
,
压缩性能
,
退火处理
马捷
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李辉
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魏建忠
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王从曾
稀有金属材料与工程
采用自制实验装置,通过化学气相沉积钨过程中间断缠绕钨丝,得到钨丝-CVD钨复合材料.测试分析了材料的密度、成分及显微硬度;通过压溃试验计算出钨复合材料的压溃强度,通过拉伸试验和三点弯曲试验分别绘出拉伸和弯曲曲线.实验结果表明,化学反应温度控制在550℃,WF6和H2流量分别控制在2g/min和l L/min时,可得到没有孔洞的致密涂层.与相同工艺条件下不缠钨丝CVD钨样品相比,钨丝-CVD钨复合材料仍具有较高的纯度、致密度,显微硬度大致相同,而压溃强度、抗拉强度和抗弯强度大大提高.
关键词:
钨丝
,
CVD钨
,
复合材料
,
力学性能
