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纯铁表面三价镀铬/渗氮复合处理制备CrN/Cr2N涂层

焦东玲 , 黄海滨 , 丁红珍 , 邱万奇

材料热处理学报 doi:10.13289/j.issn.1009-6264.2016-X296

采用预三价镀铬再穿透气体渗氮的方法,在纯铁表面制备CrN/Cr2N涂层.研究不同镀铬层厚度、渗氮温度和时间所形成涂层的微观结构和相组成变化规律.随渗氮温度从540℃提高到700℃,镀铬层相结构变化为:Cr→CrN/Cr2N(具有超点阵结构的Cr2N)→CrN/Cr2N.在同一温度(640℃)渗氮,随时间延长,Cr→CrN/Cr2N,形成大量具有超点阵结构的Cr2N相.SEM/EPMA测试结果表明,采用该复合处理制备的氮化铬层与基体间可形成互扩散的冶金结合,实现氮化铬层与基体间在组织结构上的平缓过渡,有利于提高涂层性能.

关键词: 氮化铬 , 渗氮 , 镀铬 , CrN , Cr2N

反应磁控溅射沉积工艺对Cr-N涂层微观结构的影响

石永敬 , 龙思远 , 方亮 , 潘复生 , 杨世才

中国有色金属学报

研究在不同工艺条件下用直流反应磁控溅射技术在T10衬底上制备Cr-N涂层,并采用光电子能谱仪和XRD依次分析Cr-N涂层的表面结构和工艺参数对Cr-N涂层成分及相组成的影响.结果表明,Cr-N涂层在存放一段时间后表面产生复杂的Cr2O3相以及Cr(O,N)x相;常温下随着N2含量的增加,涂层相结构逐渐由Cr转变为化学比的CrN相.当N2含量为33.3%时,Cr-N涂层的相成分主要为Cr2N+CrN.并发现衬底偏压直接影响Cr-N系涂层的晶态及取向特征,当偏压增加到-130 V时,Cr-N涂层中β-Cr2N相结构逐渐转变为(110)和(300)取向结构.

关键词: 铬氮涂层 , 磁控溅射 , T10 , Cr2N , CrN

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