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非平衡磁控溅射制备CrTiAlN/GLC复合涂层的表面性能及摩擦磨损性能研究

朱志勇 , 施雯 , 苑俊峰 , 李潇 , 万紫

上海金属

采用非平衡磁控溅射技术在新型冷作模具钢表面制备CrTiAlN/GLC复合涂层,并应用拉曼光谱(Raman)、纳米压痕、磨损试验等测试方法分析与考察该复合涂层的组织结构、纳米硬度、结合强度和摩擦磨损性能.结果表明:CrTiAlN/GLC复合涂层由CrTiAIN和以sp2为主的非晶及微晶结构GLC组成,其纳米硬度(17.38 GPa)介于CrTiAIN与GLC单一涂层之间,但有最高的弹性模量(186.35 GPa),并与基体结合状况良好(临界载荷Le≥60 N).此外,复合涂层还明显地改善了基体表面的摩擦学性能,干摩擦系数为0.1~0.35,油润滑磨损率(<0.7×10-12mm3/N·mm)约为基体(1.36×10-12 mm3/N·mm)的50%.

关键词: CrTiAlN/GLC涂层 , 非平衡磁控溅射 , 拉曼光谱 , 性能 , 磨损

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