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非平衡闭合场磁控溅射CrTiAlN/MoST复合涂层的性能研究

施雯 , 徐颖婕 , 徐润翔 , 曾招钦

材料热处理学报 doi:10.3969/j.issn.1009-6264.2007.z1.064

采用非平衡闭合场磁控溅射方法在Cr12MoV冷作模具钢表面制备CrTiAlN单一涂层和CrTiAlN/MoST复合涂层,通过AFM、XRD、显微硬度、划痕和磨损试验综合分析涂层相结构和的表面性能.实验结果表明,CrTiAlN/MoST复合涂层比CrTiAlN单一涂层更光滑、致密,(Cr,Ti,Al)N在(111)晶面呈强烈的衍射峰,无明显的MoS2衍射峰.Crl2MoV经PVD处理后,表面显微硬度和耐磨性得到了明显的提高,尤其是复合涂层,由于CrTiAlN硬涂层抗磨和MoST软涂层减摩的综合作用表现出比CrTiAlN涂层更低的磨损率,主要的磨损机制为逐层剥落的疲劳磨损.

关键词: Crl2MoV钢 , 磁控溅射 , CrTiAlN/MoST涂层 , 摩擦磨损

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