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电介质/金属/电介质结构透明导电薄膜的研究进展?

廉吉庆 , 王丽军 , 王小平 , 陈海将 , 宋明丽 , 宁仁敏 , 柯小龙 , 安宁宁

功能材料 doi:10.3969/j.issn.1001-9731.2017.01.008

电介质/金属/电介质(D/M/D)结构透明导电薄膜是经过独特设计的一类性能优良的透明导电薄膜,经过多年研究,其各项性能指标得到了极大地提高,其应用范围也在不断拓展,目前已可应用于诸多领域。主要论述了D/M/D多层透明导电膜的研究现状,包括膜层设计原理、材料选择机制,并总结了金属层厚度、金属退火温度对膜系结构、光学、电学性质的影响机制。

关键词: 透明导电薄膜 , D/M/D结构 , 金属膜厚度 , 退火温度

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