朱守星
,
丁建宁
,
范真
,
李长生
,
蔡兰
,
杨继昌
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2004.01.026
用导电原子力显微镜(AFM)针对宏观上绝缘,微观上由导电相sp2和绝缘相sp3混合的类金刚石(DLC)膜,进行表面改性的研究,尤其观察DLC膜表面施加电压前后形貌变化.实验表明,当直流电压加在针尖上,DLC膜形貌未发生变化,而电压施加在样品表面则出现明显纳米加工凹坑.解释了凹坑的"蝴蝶坑"形成原因;对DLC膜力电耦合实验表明,在一定临界压力之下,随针尖对样品作用力的加大,凹坑的深度随之增加.
关键词:
AFM
,
DLC
,
表面改性
,
力电耦合
张文英
,
黄楠
,
孙鸿
,
冷永祥
,
杨文茂
,
陈俊英
功能材料
采用过滤真空阴极直流弧源(FilteredCathodic Vicuum Arc Deposition,FCVA)方法沉积超硬(＞6000HV)超厚(微米级)的DLC/DLC多层薄膜.通过显微硬度、内应力测量、XPS等方法表明,该薄膜显著优于普通单层薄膜.
关键词:
DLC
,
类金刚石薄膜
,
FCVA
,
超硬超厚
朱守星
,
朱世根
,
季诚昌
,
丁建宁
材料科学与工艺
doi:10.3969/j.issn.1005-0299.2006.05.006
为评价超薄类金刚石(DLC)膜在使用过程中的安全状况,利用原子力显微镜(AFM)的多模式功能,从磨损、表面改性、力电失效3个方面对DLC膜进行了试验研究.研究结果表明:相同法向力作用在不同厚度薄膜的磨损深度不同;对DLC膜的形貌和电学特性进行比较发现,磨损区域导电性比未磨损区域强;在厚度为64.09 nm薄膜施加正向25 V电场作用下,当针尖作用在表面的压力超过一定临界压力(375 nN)之后, 薄膜发生击穿,形成凹坑.
关键词:
AFM
,
DLC
,
表面改性
,
力电耦合
张溪文
,
徐世友
,
韩高荣
功能材料
采用介质阻挡化学气相沉积法(DBD-CVD)在Si及石英衬底上、室温下成功的沉积出光滑、致密、均匀、膜基结合较好的类金刚石(DLC)薄膜,并考察了电源电压对类金刚石薄膜结构及性能的影响.拉曼光谱(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)、紫外-可见光谱(UV-Vis)、高阻仪等测试及分析结果显示DBD-CVD法适于制备高质量硬质DLC薄膜.对DBD放电做了理论分析,结果与工艺研究的结论相符合.
关键词:
DBD-CVD
,
DLC
,
拉曼光谱
何子博
,
陈显春
,
苏葆辉
,
冉均国
,
苟立
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2006.02.025
针对树脂镜片耐磨性较差的问题,在聚碳酸脂(PC)镜片上采用射频辉光放电等离子体(RF-PECVD)设备沉积类金刚石(DLC)薄膜来提高耐磨性,研究了沉积工艺条件对PC基体镀类金刚石(DLC)薄膜耐磨性的影响.摩擦磨损试验、显微硬度检测评价的结果表明:在PC镜片上沉积DLC薄膜后其耐磨性有很大提高,磨损率从12.5μg/m降低到5.7μg/m,摩擦系数由0.6降到0.22,硬度提高35.7%,并获得较佳的工艺参数.
关键词:
聚碳酸脂
,
DLC
,
耐磨损性
黄蕊
,
王向晖
,
胡石琼
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2010.02.003
本文利用具有特殊的电子结构的类金刚石(DLC)薄膜来研究材料表面电子结构对人脐静脉内皮细胞(HUVEC)附着性能的影响.采用直流电弧脉冲等离子体沉积法制备DLC薄膜,通过改变靶室气体种类和气体压强来控制DLC薄膜中sp2键的含量,并通过Raman光谱分析法进行测定.采用DAPI免疫荧光染色法对细胞附着形态进行观察,并利用Image J对随机记录的多个视场的所有细胞进行了细胞附着形态的统计学分析.实验结果表明:在充入Ar气制备的DLC薄膜表面,内皮细胞的附着性能随着sp2键含量的升高而变差,充入Ar/C2H2混合气体制备的DLC薄膜因所有细胞附着形态均很差而未体现出随sp2键含量而变化的明显趋势.
关键词:
类金刚石薄膜
,
电子结构
,
内皮细胞
,
附着
刘成龙
,
杨大智
,
邓新绿
,
齐民
无机材料学报
利用微波-ECR等离子体源全方位离子注入设备,采用PSII与PSII+PECVD工艺在医用316L不锈钢上制备碳改性薄膜.Raman光谱分析表明,薄膜为典型的类金刚石(DLC) 薄膜.静态接触角测量技术研究表明:在酸碱溶液中,DLC薄膜表面价键遭到破坏,稳定性降低.不同工艺制备的DLC薄膜表面能在40mN/m左右,极性分量大于色散分量,呈现出疏水性质.DLC薄膜表面能高低取决于表面碳碳键与粗糙度的变化.
关键词:
DLC薄膜
,
surface energy
,
316L stainless steel
,
contact angle
