赵洪力
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刘起英
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杨静凯
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刘艳丽
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张福成
稀有金属材料与工程
采用常压化学气相沉积法(APCVD),以有机金属化合物-单丁三氯化锡(C4H9SnCl3,MBTC)和三氟乙烯(CF3COOH,TFA)为前驱物和掺杂剂,以水为催化剂,在线制备了F掺杂的SnO2膜;采用XRD、SEM、椭偏仪等方法研究催化剂H2O的用量对薄膜的结构和光电性能的影响.结果表明,H2O可促进反应混合气体在基板表面的热分解反应,加速薄膜沉积速率,提高薄膜结晶性能.
关键词:
低辐射玻璃
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在线镀膜
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SnO2膜
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H2O
