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霍学兵 , 韩锦伟 , 张鹏 , 耿红超 , 葛强 , 丁兴立
液晶与显示 doi:10.3788/YJYXS20173205.0357
建立了一种液晶材料中微量有机膦杂质的FPD气相色谱分析测试方法,可以同时测试液晶材料中微量三苯基氧膦和三苯基膦杂质.方法重现性好,结果相对标准偏差(RSD,n=5)分别为 4.4%和5.6%,有机膦杂质的添加回收率为80%~110%.实验对于液晶材料工业化过程中膦成分的分析方法建立具有较好的指导意义.
关键词: 液晶材料 , 有机膦杂质 , FPD
方敏 , 杨德仁 , 马向阳 , 阙端麟
材料科学与工程学报 doi:10.3969/j.issn.1673-2812.2006.02.011
本文针对重掺硼直拉单晶硅片中流动图形缺陷(FPDs)的显示进行了一系列实验,得到了一种能够腐蚀出重掺硼硅片中FPDs的Secco腐蚀液配方以及清晰显示出FPDs的最佳腐蚀时间.此外,本文就FPD的显示机理进行了探讨.
关键词: 直拉单晶硅 , 重掺硼 , FPD
