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FTO/ITO复层导电薄膜的研究

胡志强 , 张晨宁 , 丘鹏 , 刘俐宏 , 奥谷昌之 , 金子正治

功能材料

采用溶胶凝胶法与溶液水解法分别制备ITO、FTO以及FTO/ITO复层导电膜,利用分光光度仪测量在可见光范围内的透光率,用四探针法精确测量薄膜的电阻率,通过扫描电镜观测薄膜的表面形态,微观颗粒形貌以及薄膜的厚度.实验表明,用SnCl4·5H2O、In(NO3)3·4.5H2O、NH4F作为主要原料,通过溶胶凝胶法和溶液水解法可制备出低电阻率,高透光性的FTO/ITO复合导电薄膜.

关键词: 溶胶-凝胶法 , FTO/ITO复层导电膜 , 电阻率 , 透光率

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