刘梅
,
张玉梅
,
于永生
,
王永红
,
张伟
兵器材料科学与工程
doi:10.3969/j.issn.1004-244X.2009.06.004
磁场退火对直流溅射沉积得到的FeAg薄膜结构和磁性具有显著的影响.X射线衍射和磁滞回线测量的结果表明.随着磁退火温度和磁场强度的升高,颗粒生长,平行膜面和垂直膜面矫顽力增加,在400 ℃退火时达到最大值,并且垂直薄膜表面方向的矫顽力大于平行薄膜表面方向的矫顽力,FeAg薄膜在磁场下经过此温度退火表现为垂直磁各向异性.继续升高退火温度矫顽力则有减小的趋势.
关键词:
Fe-Ag薄膜
,
磁控溅射
,
磁退火
,
矫顽力
