盛梅
,
朱毅青
,
吴泽彪
,
林西平
,
栗洪道
无机材料学报
doi:10.3321/j.issn:1000-324X.1999.06.006
以正硅酸乙酯(TEOS)、硝酸铁和钼酸铵为原料,用溶胶-凝胶法制备了Fe-Si-O和Mo-O溶胶,通过浸渍-提拉法,分别制得了Fe-Si-O薄膜(以载玻片为基板)和Mo-Fe-Si-O薄膜(以多孔α-Al2O3为基质材料). 考察了制备工艺条件对Fe-Si-O成膜的影响,采用DTA、XRD和SEM等技术研究了热处理条件对Mo-Fe-Si-O薄膜结构的影响. 结果表明:溶胶粘度、衬底材质、浸渍时间、提拉速度等是影响Fe-Si-O成膜的主要因素;溶胶-凝胶法制备的Mo-Fe-Si-O/α-Al2O3无机复合膜热处理温度达到650℃以上, 即能形成比较明显的结晶相,薄膜经高温焙烧(700℃)-冷却反复5次,膜表面没有出现剥离和开裂现象.
关键词:
溶胶-凝胶
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Fe-Si-O溶胶
,
Mo-O溶胶
,
Mo-Fe-Si-O薄膜
