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热处理对FeCuNbSiB单层膜磁性能的影响

王蕾 , 李洪珠 , 杜兆富 , 徐立红 , 张洪平 , 赵栋梁

金属功能材料

本文研究了热处理对FeCuNbSiB薄膜结构及磁性能的影响.XRD分析表明制备态的FeCuNbSiB为非晶态,并且在300℃热处理仍然保持非晶态.300℃热处理后,薄膜释放应力,软磁性能有所提高.热处理温度进一步升高,薄膜由非晶态转化为纳米晶,矫顽力及饱和磁化场明显增加,磁矩向垂直膜面方向转动,软磁性能下降.

关键词: FeCuNbSiB薄膜 , 热处理 , 磁性能