赵帅
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毕雅萱
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许新军
材料保护
为了提高钢领表面耐磨性,采用中频非平衡磁控溅射法在经热处理的GCr15钢领上制备了类金刚石(DLC)薄膜,并对不同磁控溅射功率、负偏压下制备的DLC薄膜进行了组织结构分析和摩擦磨损性能测试.结果表明:随着溅射功率、负偏压增加,DLC薄膜的Raman谱G峰位置和ID/IG值均整体上呈增加趋势,sp3键含量减少,石墨化程度增加;负偏压恒定为100 V时功率为8 kW以及功率恒定为5 kW时负偏压120 V,制备的DLC薄膜具有较小的摩擦系数和稳定的抗磨损性能.
关键词:
磁控溅射法
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DLC薄膜
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GCr15钢领
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组织结构
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摩擦磨损性能
