马仙梅
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荆海
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王永刚
,
王龙彦
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王中健
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马凯
液晶与显示
doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2009.06.013
采用射频磁控溅射法在玻璃衬底上制备了高质量的Ga掺杂ZnO透明导电薄膜(GZO).通过X射线衍射、原子力显微镜、四探针电导率测试仪等表征方法研究了溅射气压对薄膜结晶特性及导电性能的影响.所制备的GZO薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜,最佳择优取向为(002)方向.随着溅射气压的增大,薄膜方块电阻与薄膜电阻率均随之增大.最小方块电阻可达17.6 Ω/□,最小薄膜电阻率为7.3×10~(-4) Ω·cm.另外,GZO薄膜在可见光范围内的透过率达到了90%以上.
关键词:
GZO
,
磁控溅射
,
氩气压强
李倩
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王万晶
,
李喜峰
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张建华
,
吕建国
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2012.03.011
采用溶胶凝胶法制备了ZnO:Ga (GZO)透明导电薄膜,并用做GaN基LED的电流扩散层.研究表明,GZO薄膜为多晶薄膜,透光率大于80％,粗糙度为Ra 4.6nm,制备的LED的开启电压为2.4V,并成功的点亮LED芯片.
关键词:
溶胶凝胶
,
LED
,
GZO
