薛成山
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王福学
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庄惠照
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张晓凯
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艾玉杰
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孙丽丽
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陈金华
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秦丽霞
功能材料
研究了Ga2O3/In2O3 膜反应自组装制备GaN薄膜,再将Ga2O3/In2O3膜在高纯氨气气氛中氨化反应得到GaN薄膜,用X射线衍射 (XRD),傅里叶红外吸收(FTIR),扫描电镜(SEM)和透射电镜(TEM)对样品进行结构、形貌的分析.测试结果表明,用此方法得到了六方纤锌矿结构的GaN多晶膜,且900℃时成膜的质量最好.
关键词:
GaN
,
Ga2O3/In2O3
,
氨化
,
磁控溅射
