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低温热处理对Graphit-iC类石墨碳膜组织结构及耐磨性的影响

李潇 , 施雯 , 苑俊峰 , 张健 , 陈智勇

上海金属 doi:10.3969/j.issn.1001-7208.2012.04.007

应用拉曼光谱(Raman)等测试方法分析了不同热处理温度对PVD技术制备的Graphit-iC类石墨碳膜涂层的组织结构、显微硬度、结合强度和磨损率的影响规律.结果表明:随温度升高,涂层发生sp3→sp2结构转变,相对强度比ID/IG增加,石墨化倾向增大;涂层磨损率在25~250℃温度区间内保持较低的水平,当温度继续上升后表面显微硬度及结合力降低,磨损率显著增大,耐磨性降低.

关键词: Graphit-iC类石墨碳膜 , 低温热处理 , 微观结构 , 耐磨性

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