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不同能量He离子注入单晶Si引起的损伤研究

刘昌龙 , 尹立军 , 吕依颖 , 阮永丰 ,

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.04.031

40、160和1550 keV能量的He离子在室温下注入单晶Si样品到相同的剂量5×1016 ions/cm2,采用透射电子显微镜(TEM)研究了800℃退火1h在Si中引起的损伤形貌.结果表明,三种能量的He离子注入Si并经高温退火均能产生空腔,但空腔的形貌、尺寸以及分布深度都依赖于离子的能量.结合TRIM程序计算结果对空腔和其它缺陷产生对He离子能量的依赖性进行了讨论.

关键词: 单晶Si , He离子注入 , 高温退火 , He空腔 , 透射电子显微镜

He 离子注入单晶Si纳米气泡形成生长及其应用探讨

刘昌龙

原子核物理评论 doi:10.3969/j.issn.1007-4627.2004.03.011

首先简述了He离子注入单晶Si引起的气泡形成、生长以及其它缺陷对其生长的影响, 介绍了Si中He气泡生长的可能微观机制以及它们在现代半导体技术中潜在的应用前景, 提出了该领域研究有待解决的关键问题.

关键词: 单晶Si , He离子注入 , He气泡 , 生长机制 , 缺陷

He对仅含位错的纯Fe力学性能的影响研究

潘小强 , 徐虬 , 杉浦悠作 , 横谷拓哉 , 义家敏正

材料导报 doi:10.11896/j.issn.1005-023X.2016.10.001

在反应堆运行过程中,核材料中的He通过核反应产生,并对材料性能的影响较大.通常认为,He会造成材料强度的上升,韧塑性的下降.制备了不同变形量的仅含位错的纯铁样品,开展了He原子对于样品力学性能影响研究,并对影响机理进行了初步分析.结果表明,不同的变形量下,He的注入使得样品的拉伸强度或有所提升,或变化不大,但所有样品的延伸率均得到了不同程度的提高.该结果与通常认为的“氦脆”现象不相一致,由此可见,He并不总是降低金属材料的力学性能.

关键词: 纯铁 , He离子注入 , 位错 , 力学性能

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