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ITO薄膜的微观组织结构与光电性能研究

曾胜男 , 刘家祥 , 张楠

稀有金属材料与工程

以金属铟和结晶四氯化锡为原料,采用溶胶-凝胶工艺,用浸渍提拉法在石英玻璃基体上制备ITO透明导电薄膜.采用XRD,AFM,四探针电阻率仪,紫外分光光度计对薄膜的晶型结构,表面形貌,方电阻和透光率进行了测定和分析,研究了热处理温度和提拉层数对薄膜光电性能的影响.结果表明:随着热处理温度的升高,薄膜的方电阻显著降低,透光率也不断增大,但是当后处理温度大于750℃时,透光率略有降低,方电阻仍然降低.

关键词: ITO前驱物浆料 , 溶胶-凝胶法 , 微观组织结构 , 光电性能

分散剂PEG对ITO前驱物浆料稳定性能的影响

朴圣洁 , 刘家祥 , 曾胜男

稀有金属材料与工程

以金属铟和结晶四氯化锡为原料,加入各种添加剂制备了稳定的ITO前驱物浆料.利用Zeta电位、扫描电镜、沉降试验研究了分散剂PEG对浆料稳定性能的影响.结果表明,分散剂PEG与ITO前驱物氢氧化物胶粒表面建立了较强的氢键,通过空间位阻稳定作用提高了浆料的稳定性;PEG的加入可使浆料中固体颗粒分散均匀,颗粒粒度主要分布在50~100 nm之间;沉降试验和粘度的测定表明,浆料pH值在8.0,分散剂PEG用量在1.0%~2.0%(质量分数,下同),粘度在2.1~2.6mPa·s时,在沉降120 h后的浆料中,固体颗粒沉降体积百分比在10%以内,能够保证浆料的相对稳定.

关键词: ITO前驱物浆料 , 分散剂 , 粘度 , 性能

分散剂对ITO前驱物浆料稳定性的影响

张楠 , 刘家祥 , 吴妲

稀有金属材料与工程

以金属铟和结晶四氯化锡为原料,通过加入各种添加剂制备了稳定的ITO前驱物浆料.利用沉降实验、Zeta电位、透射电镜研究了分散剂对浆料稳定性的影响.通过考察不同pH值条件下,分散剂的种类及用量对ITO浆料稳定性的作用,探究其分散机理.结果表明,在ITO前驱物浆料中加入离子型分散剂乙醇胺,通过乙酸调节pH值,可使颗粒间具有较高静电效应,在此基础上加入高分子表面活性剂(PEG、PVP),使得颗粒间又具有空间位阻效应.从而防止了颗粒间的团聚,可得到高度分散的浆料.前驱物浆料颗粒粒度主要分布在10~20 nm之间.结果表明,最优的分散剂用量为:PEG 10%(质量分数,下同),PVP 10%和乙醇胺2.5%.

关键词: ITO前驱物浆料 , 分散剂 , 稳定性 , Zeta电位 , pH值

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