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直流电弧法回收ITO废靶技术研究

张雪凤 , 常鹏北 , 彭晖 , 刘冠鹏

材料开发与应用 doi:10.3969/j.issn.1003-1545.2012.02.011

本文提出一种新型的ITO废靶回收技术,采用直流电弧法将ITO废靶气化制成纳米ITO粉末,实现废靶的回收.借助XRD(X射线衍射)和TEM(透射电子显微镜)等技术对粉末进行表征,发现经回收制备的ITO粉末为单一的立方In2O3结构,颗粒多以四方和类球形两种形貌存在,粒度尺寸在5- 200nm范围内.

关键词: ITO废靶 , 直流电弧法 , 回收 , ITO粉末

ITO废靶回收金属铟

陈坚 , 姚吉升 , 周友元 , 陈志飞 , 王玺 , 黄军武

稀有金属 doi:10.3969/j.issn.0258-7076.2003.01.024

磁控溅射镀膜后的ITO废靶, 以及ITO靶材生产中产生的边角料、切屑、废品等是再生铟的主要原料. 对废靶的还原-二次电解工艺进行了研究, 并获得了工艺参数良好、回收率高、纯度为99.993%的金属铟产品.

关键词: 铟 , 回收 , ITO废靶

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