刘桂林
,
朱华新
,
郭颖
,
严慧敏
,
李果华
人工晶体学报
使用光刻的方法进行ITO电极的制作,可制得精细的电极结构,本文重点阐述了使用光刻制备ITO电极的方法,包括表面清洗、曝光参量、显影条件、腐蚀工艺等,其中较为理想的ITO光刻工艺为:50 s曝光时间、30 s显影时间、20s化学腐蚀时间.并用对腐蚀工艺条件进行了理论分析,并使用光学相干断层扫描(OCT)技术对制备的电极进行了测量.
关键词:
ITO电极
,
光刻
,
化学腐蚀
,
光学相干断层扫描
严慧敏
,
郭颖
,
朱华新
,
刘桂林
,
朱冰洁
,
李帅
,
李果华
人工晶体学报
聚合物太阳电池的制备中,阳极ITO的制备是决定器件效率的重要工艺之一.本文主要对ITO电极的湿膜光刻和干膜光刻制备方法进行了比较,并用光学相干断层扫描(OCT)技术等方法对制备的电极进行了检测,结果表明湿膜光刻可以获得较为精细的电极结构.
关键词:
湿膜光刻
,
干膜光刻
,
OCT
,
ITO电极
郭颖
,
刘桂林
,
朱华新
,
严慧敏
,
朱冰洁
,
李帅
,
于海民
,
李果华
人工晶体学报
为验证ITO的光电性能,以不同类型ITO作为光电阳极,采用旋涂与真空蒸镀的方法制备本体异质结聚合物太阳电池ITO/PEDOT∶ PSS/P3HT∶ PCBM/Al,研究了ITO表面形貌及光场分布对太阳电池光电性能的影响.结果表明,合适的ITO厚度及表面形貌能够在有效收集空穴的同时,提高光子透过率,保证有源层对光子的吸收.合适的ITO阳极厚度及表面形貌能够有效提高聚合物太阳电池的光伏性能,使得聚合物电池的效率从0.07％提升至1.30％.
关键词:
聚合物太阳电池
,
ITO电极
,
透过率
,
光伏特性
,
表面形貌
何品
,
叶葱
,
邓腾飞
,
吴加吉
,
张骏驰
,
王浩
稀有金属
doi:10.13373/j.cnki.cjrm.2016.03.007
采用磁控溅射和光刻技术制备了1 pm×1 μm的TiN/HfO2/ITO(氧化铟锡)3层结构的器件,通过控制改变正负细丝形成(forming)电压的操作方式来研究其阻变性能.研究结果表明,在上述的两种操作模式下,当保持操作端不变时导电细丝的形成与断裂均发生在ITO端操作,且从电流-电压(I-V)循环曲线中均发现了器件具有自限流特性.同时,文中比较了氧化铟锡(ITO)和铂(Pt)两种电极下,存储器单元阻变性能的差别.结合电流-电压循环曲线的拟合机制,推断出自限流特性来源于氧化铟锡(ITO)电极与氧化铪基阻变层之间形成的界面层.进一步设计了基于氧化铟锡(ITO)电极下的氧化硅/氧化铪双层结构阻变层的器件,发现该器件仍具有自限流效应.而且,氧化硅层同样起到了降低操作电流的作用,故使得器件的功耗大幅度降低至16 μW.
关键词:
阻变存储器
,
自限流特性
,
操作电流
,
ITO电极
