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氮化铟粉末的热稳定性

王福学 , 薛成山 , 庄惠照 , 艾玉杰 , 孙丽丽 , 杨兆柱 , 张晓凯

稀有金属材料与工程

用X射线衍射(XRD)、傅里叶红外吸收(FTIR)对InN粉末在空气中的热稳定性进行了分析研究.结果表明:当温度低于400℃时,InN非常稳定;但当温度超过500℃时,InN很容易被氧化;当温度增加到600℃时,InN被完全氧化成In2O3.

关键词: 热稳定性 , InN , In2O3

催化剂辅助化学气相沉积法制备InN纳米线

郑春蕊

材料导报

采用催化剂辅助化学气相沉积法,通过固-液-气(V-L-S)机理控制在硅衬底上制备了高质量的InN纳米线.利用FESEM、XRD、HRTEM对制备的InN纳米线的表面形貌和结构进行了表征.分析表明合成的InN纳米线为标准的六方纤锌矿结构,纳米线沿[102]方向生长.室温PL光谱表明,制备的InN纳米线在1580nm(0.78eV)处存在很强的无缺陷的带边发射,与六方纤锌矿结构InN单晶发射峰位置一致,表现出良好的光电性能.

关键词: InN , 纳米线 , 化学气相沉积

InN材料及器件的最新研究进展

丁少锋 , 范广涵 , 李述体 , 郑树文 , 陈琨

材料导报

InN材料是性能优良的Ⅲ-Ⅴ族氮化物半导体材料,在光电子领域有着非常重要的应用价值,由此成为最近国际国内研究的热点.就InN材料的制备方法、p型掺杂、电学特性、光学特性、器件的研究应用以及国内研究的最新进展进行了综述.

关键词: InN , 特性 , 应用 , 进展

氧对磁控溅射制备InN薄膜带隙的影响

石相军 , 汪健 , 朱洁 , 侯祥胡

功能材料与器件学报

本文用射频磁控溅射技术,以金属铟为靶材,在石英玻璃上制备出了InN薄膜,溅射气体为氩气(Ar)和氮气(Nz)的混合气体,溅射压强为0.5Pa~1.0Pa.InN晶体呈六方纤锌矿结构,随着压强的不同,晶体取向发生明显的变化,制得的InN薄膜的带隙为2.1eV ~2.3eV.X射线光电子能谱(XPS)和拉曼(Raman)分析氧原子以类似In2O3的形式存在,其存在会引起InN晶体质量变差,致使InN的带隙明显升高.

关键词: 射频磁控溅射 , InN , 带隙 , In2O3

蓝宝石上GaN基多层膜结构椭偏研究

杜江锋 , 赵金霞 , 罗谦 , 于奇 , 夏建新 , 杨谟华

功能材料

对InN/GaN/Al2O3和Ga2O3/GaN/Al2O3多层膜结构进行了椭圆偏振光谱研究.所有GaN样品均采用MOCVD工艺在蓝宝石(Al2O3)衬底上生长所得.应用多层介质膜模型,在300~800nm测试波长范围内拟合得到了样品各层厚度和折射率色散关系,并与GaN单层膜色散关系相比较,分析了各层膜之间对自身折射率的影响.研究结果表明,InN和Ga2O3表面均存在一个粗糙层,采用有效介质近似模型可使拟合结果更为准确;相对于GaN单层膜结构,InN薄膜使其下面的GaN层折射率明显增大,这应与界面层态密度有关;而在300~400nm测试范围内,Ga2O3折射率出现反常色散现象,InN消光系数亦产生了一个强的吸收峰,这则可能与GaN层在360nm左右存在的一个强吸收(Eg≈3.4eV)有关.

关键词: GaN , 椭圆偏振光谱 , InN , Ga2O3

在MOCVD系统中用预淀积In纳米点低温下合成生长InN

谢自力 , 张荣 , 修向前 , 毕朝霞 , 刘斌 , 濮林 , 陈敦军 , 韩平 , 顾书林 , 江若琏 , 朱顺明 , 赵红 , 施毅 , 郑有炓

人工晶体学报 doi:10.3969/j.issn.1000-985X.2005.06.014

利用低压金属有机化学气相淀积(LP-MOCVD)系统,在(0001)蓝宝石衬底上采用预淀积In纳米点技术低温合成制备了立方相的InN薄膜.首先以TMIn作源在蓝宝石衬底表面预淀积了一层金属In纳米点,然后在一定条件下合成生长InN薄膜.X射线衍射谱(XRD)和X射线光电子发射谱(XPS)显示适当的预淀积In不仅能够促进InN的生长,同时还能够抑制金属In在InN薄膜中的聚集.原子力显微镜(AFM)观察表明,金属In纳米点不仅增强了成核密度,而且促进了InN岛的兼并.自由能计算表明预淀积的In优先和NH3分解得到的NH与N基反应生成InN.我们认为这种优先生成的InN为接下来InN的生长提供了成核位,从而促进了InN的生长.

关键词: InN , 预淀积In纳米点 , MOCVD

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