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Ti6Al4V表面磁控溅射NiCoCrAlY涂层的组织及性能

王宝云 , 李争显 , 严鹏 , 王彦峰 , 姬寿长

表面技术 doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.01.008

为了提高钛合金的高温抗氧化能力,采用非平衡磁控溅射技术在Ti6Al4V钛合金的表面沉积了NiCoCrAlY涂层,通过SEM,EDS和XRD分析了涂层氧化前后的物相组成和组织形貌.结果表明:长时间沉积后,受基材原始表面状态和涂层择优生长作用的影响,涂层表面有大量微米级的细小颗粒和少量直径约10 μm的圆丘形突起;NiCoCrAlY涂层成分与靶材相近.NiCoCrAlY涂层明显提高了钛合金的抗氧化性能,使其氧化增重速率大大降低.经高温氧化后,涂层与基底的界面处Ti,Ni等元素发生互扩散形成过渡层,随氧化时间延长,过渡层逐渐增厚;并且受高温作用,涂层表面化合物相晶态特征有增强的趋势.

关键词: 钛合金 , 抗氧化 , 磁控溅射 , MCrAlY , 涂层

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