戴姣燕
,
胡昌义
,
万吉高
,
方颖
,
欧阳远良
,
高文桂
,
刘伟平
,
杨家明
贵金属
doi:10.3969/j.issn.1004-0676.2006.01.005
以乙酰丙酮铱为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在石英片上沉积了Ir/C簇膜.研究了氧气流量及沉积温度对Ir/C簇膜成分和结构的影响.研究发现,少量氧气的加入(4mL/min)大幅度地降低了Ir/C簇膜中碳元素的含量;沉积温度对薄膜中碳含量的影响规律则比较复杂:未通氧气的情况下,在实验温度范围内碳含量随着温度的升高而增大,而在通入氧气的情况下碳含量呈现出先升后降的复杂变化趋势.大量碳的沉积宽化了Ir的衍射峰,使其具有非晶衍射的特征.当沉积温度为650℃,未通氧气沉积的Ir/C簇膜中铱晶粒粒经约为3nm.
关键词:
低维金属材料
,
Ir/C簇膜
,
成分
,
结构
,
金属有机化合物化学气相沉积
