王建省
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裴文利
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杨波
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李松
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任玉平
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秦高梧
功能材料
利用磁控溅射在不同Ar气压下制备了不同膜厚的FePt薄膜。利用透射电镜（TEM）研究了溅射气压和膜厚对薄膜形貌的影响，利用振动样品磁强计（VSM）研究了溅射气压和膜厚对薄膜磁性能的影响。结果表明溅射气压和膜厚对溅射态单层FePt薄膜的表面形貌、颗粒尺寸有很大影响。随着溅射气压的增大，颗粒尺寸减小，从连续膜转变成颗粒膜；随着膜厚的增加，颗粒尺寸变大，从颗粒膜变成连续膜。通过调节溅射气压可以控制FePt的岛状结构，从而获得较理想的FePt颗粒薄膜。溅射气压和膜厚对经过热处理的L10-FePt薄膜的磁性能有很大影响。随着溅射气压增加，形核场由正值转变成负值，矩形比有增大趋势；随着厚度的增加，无序-有序相转变更充分。
关键词:
颗粒膜
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L10-FePt
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溅射参数
