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薄膜厚度对PZT/STO铁电电容器隧穿电阻的影响

王英龙 , 刘林 , 张鹏程 , 梁伟华 , 丁学成 , 褚立志 , 邓泽超

功能材料

结合Landau-Devonshire自由能理论和晶格模型,研究了PbZr1xTixO3 (PZT)/SrTiO3 (STO)复合薄膜中PZT和STO厚度对铁电隧道结极化强度、电导和隧穿电阻等的影响.模拟结果表明,随着层数增加,极化强度增大;平均极化强度随着PZT厚度增加而增强,随着STO厚度增加而减弱;随着PZT和STO厚度增加,电导减小,隧穿电阻率增加;当厚度变化相同时,PZT引起电导的变化大,隧穿电阻率变化小.考虑薄膜面积的影响,当薄膜面积从无限大变成有限大时,极化强度、电导和隧穿电阻均减小.

关键词: 铁电电容器 , 隧穿效应 , Landau模型 , PZT

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