董燕
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张波萍
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张雅茹
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李向阳
功能材料
采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2(1mm)/Si基板上制备了Li和Ti共掺NiO基新型无铅介电薄膜材料,研究了薄膜的形貌、结构、介电性能.结果表明,热分解温度(300～500℃)对薄膜结构影响不明显,经600～800℃退火后的薄膜由NiO与Li-Ni-O复合氧化伆组成;经300℃热分解处理、650℃退火后的薄膜,其表面均匀致密,膜厚约300nm,室温下100Hz时的介电常数为767,当频率高于3000Hz后,介电常数随频率的增加趋于减小.
关键词:
NiO薄膜
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溶胶-凝胶法
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介电常数
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Li和Ti掺杂
