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MEMS超级电容器膜电极材料的表面改性

朱平 , 蔡婷

材料科学与工艺 doi:10.11951/j.issn.1005-0299.20150320

为了改善MEMS超级电容器膜电极的致密性,通过在聚吡咯( PPy)中引入苯磺酸钠( BSNa)和氧化石墨烯( GO)表面改性功能薄膜,实现聚吡咯薄膜在MEMS超级电容器三维微结构上的均匀沉积.借助扫描电镜( SEM)、循环伏安测试( CV)、交流阻抗谱测试( EIS)、恒流充放电测试( CP )等手段对表面改性后的样品进行电化学性能测试.结果表明:当吡咯单体(Py)与BSNa摩尔比为1∶2,GO含量为0.4%时,在-0.4~1.0 V电压范围内,以100 mV/s速率扫描56圈,PPy薄膜的致密性最佳;表面改性可以在很大程度上减轻PPy颗粒的团聚,使得聚合后的PPy分子链排布紧密,形成了规整的网状立体结构;在放电电流为2 mA时,比容量可以达到13.3 mF/cm2,MEMS超级电容器的电化学性能得到改善.

关键词: 聚吡咯 , 氧化石墨烯 , 表面改性 , 致密性 , 三维微结构 , MEMS超级电容器

微型超级电容器PPy/GO-RuO2复合膜电极的制备与电化学性能

朱平 , 蔡婷 , 韩高义 , 熊继军

无机材料学报 doi:10.15541/jim20140500

为了解决氧化钌(RuO2)沉积电位过高, 难以在三维微结构金属集流体上直接沉积的问题, 提出采用分步电沉积方法在微三维结构镍(Ni)集流体上制备 RuO2复合膜电极, 即先在三维微结构 Ni 集流体上沉积聚吡咯/氧化石墨烯(PPy/GO)薄膜作为基底, 经热处理后, 在基底上二次沉积出RuO2颗粒, 最后再对RuO2复合薄膜进行二次热处理.扫描电子显微镜(SEM)观察显示, 随着热处理温度的升高, 薄膜表面多孔结构增多, 达到了提高膜电极结构孔隙分布的目的.能量分散谱(EDS)和X射线光电子能谱分析(XPS)表明, 薄膜中无定形RuO2·xH2O的存在保证了膜电极的大比容量.电化学性能测试结果表明,经105℃处理后的膜电极电化学性能最佳,比电容为28.5 mF/cm2,能量密度为0.04 Wh/m2,功率密度为14.25 W/m2.采用分步电沉积方法制备出的RuO2复合薄膜是一种良好的MEMS超级电容器电极材料.

关键词: RuO2复合薄膜 , 分步电沉积 , 热处理 , MEMS超级电容器

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