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磁控溅射MoO3半导体功能薄膜的制备与结构性能研究

刘云辉 , 王波

材料导报

采用射频磁控溅射技术分别在Si(100)和玻璃衬底上通过调整不同的溅射功率和退火温度成功制备了MoO3薄膜.利用X射线衍射、扫描电镜、紫外可见光分光光度计、接触角测量等进行了表征和分析.X射线衍射表明400℃以上沉积的MoO3结晶薄膜属正交晶系,沿(0k0)(k=2n)取向择优生长,衍射峰强度和薄膜的结晶度随溅射功率的提高逐渐增强;利用扫描电镜观察表面形貌,发现结晶的薄膜表面发生了不同程度的变化,由初期均匀分布的纳米细长状颗粒长大成二维片状结构;紫外可见光分光光度计测试表明,薄膜在可见光区具有良好的光学透过性,平均透过率达60%以上;接触角测量发现薄膜呈明显亲水性,通过后续的表面氟化改性热处理,实现了薄膜亲水-疏水的润湿性能转换.

关键词: MoO3薄膜 , 射频磁控溅射 , 微结构 , 接触角

塑料基MoO3电致变色薄膜性能

李再轲 , 曾竟成 , 肖加余

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2007.02.004

采用溶胶-凝胶工艺,在镀有ITO透明电极的聚对苯二甲酸乙二酯(PET)基体上制备了MoO3电致变色薄膜.用FT-IR和TG-DTA分析了薄膜的成分和热稳定性,用分光光度计、电化学工作站研究了其在1 mol/L的LiClO4碳酸丙烯酯(PC)液体电解质中的电致变色性能.结果表明:薄膜主要成分是含有水合过氧化氢的无定形MoO3;着、退色前后可见光透过率变化△T为40%,在550 nm时的致色效率为44.8 cm2/C,经1000次循环,电色性能变化很小;着色速度和对比度随着色电压的增加而增加,Li0的扩散和Li+的迁移分别控制着着色速度和退色速度.

关键词: 溶胶-凝胶 , MoO3薄膜 , 电致变色 , 柔性基体

锂掺杂MoO3薄膜的制备及电色性能的研究

章俞之 , 王忠春 , 快素兰 , 胡行方

无机材料学报 doi:10.3321/j.issn:1000-324X.2000.06.032

采用过氧化氢溶胶 -凝胶法成功地在室温下制备了纯的MoO3和锂掺杂的MoO3薄膜.通过TG-DTA热分析、FTIR红外光谱分析、循环伏安和光学特性的测试,研究了薄膜成膜过程中的结构转变过程和薄膜的电化学性能及电变色性能.结果表明通过Li+掺杂,MoO3溶胶的稳定性和MoO3薄膜的电化学循环稳定性都有了较大的提高.且掺杂锂的MoO3薄膜仍具有良好的电变色性能.

关键词: MoO3薄膜 , 电致变色 , 过氧化氢 , 溶胶-凝胶

Li+掺杂MoO3薄膜的制备与电致-光致变色特性研究

章俞之 , 黄银松 , 曹韫真 , 快素兰 , 宋力昕 , 胡行方

液晶与显示 doi:10.3969/j.issn.1007-2780.2002.03.002

采用过氧溶胶-凝胶法在室温下制备了具有电致变色和光致变色特性的10mol%Li掺杂MoO3薄膜.对薄膜循环伏安特性和光学特性的测试结果表明,经120℃处理的Li+掺杂MoO3薄膜具有良好的电化学性能及电致变色性能.采用Raman光谱对Li+掺杂MoO3薄膜光变色前后结构的分析表明,薄膜经紫外光照后结构进行了重组,有序性增强,且吸收光谱研究表明薄膜具有较好的光致变色特性.

关键词: MoO3薄膜 , 电致变色 , 光致变色 , 溶胶-凝胶法

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