孙建荣
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李长生
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郭志成
,
刘金银子
机械工程材料
采用磁控溅射法,在20CrMnTi基片上制备了MoS2/Ni复合膜,通过X射线衍射仪、能谱仪、扫描电子显微镜和微摩擦磨损试验机对薄膜的形貌、物相和摩擦学性能进行了测试与分析.结果表明:MoS2/Ni复合膜形貌规整,结构均匀；其摩擦因数低,具有较好的耐磨性和抗氧化性,承载能力大,在高转速摩擦条件下的性能更加优异.
关键词:
MoS2/Ni复合膜
,
磁控溅射
,
摩擦磨损性能
姚固文
,
李长生
,
张晔
机械工程材料
doi:10.3969/j.issn.1000-3738.2007.04.015
采用磁控溅射法制备了MoS2/Ni复合膜,同时对影响膜层性能的工艺参数进行了初步探讨,并对复合膜进行了成分与结构分析以及摩擦试验.结果表明:在本试验工艺参数(本底真空度为7.0×10-4 Pa,沉积气压为0.5 Pa,溅射功率为160 W,溅射氩气流量为80 cm3/s,靶基距为60 mm,基片温度为70℃)下制备的MoS2/Ni复合膜能够大大降低不锈钢等基底表面的摩擦因数,并且在高速重载的条件下具有更低的摩擦因数和更小的摩擦因数波动值.
关键词:
磁控溅射
,
MoS2/Ni复合膜
,
摩擦
