王丽阁
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李剑锋
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李国卿
材料科学与工程学报
采用中频孪生非平衡磁控溅射技术,制备了纳米晶结构NiOx电致变色薄膜.利用原子力显微镜、掠射X射线衍射、电化学设备、紫外分光光度计等测试手段分析薄膜结构及电致变色特性.结果表明:室温沉积获得表面质地均匀的NiOx薄膜;在±3V致色电压下,薄膜电致变色性能优异,对可见光透过率调制范围达30%以上,但薄膜寿命低.获得的薄膜为结构疏松的纳米晶结构,易于离子的注入和抽取,变色性能优异,但易发生Li+不可逆注入,薄膜寿命低.
关键词:
电致变色
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NiOx
,
磁控溅射
,
纳米晶
刘化然
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盛英卓
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宋宇
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杨伟峰
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李金荣
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黄鹏
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冯博学
功能材料
采用射频溅射法在SnO2衬底上生长了NiOx薄膜,制备的薄膜是非理想化学计量的微晶薄膜.研究了氧分压对NiOx薄膜的溅射速率、表面形貌和光学电学特性的影响.研究结果显示,O2分压在1∶10时,可得到最快的沉积速率;低的氧分压沉积的薄膜表面比较疏松;随着氧含量的增加,方块电阻呈上升趋势,当氧分压达到一定值时,膜电阻又开始下降;随着氧分压的升高,颜色会逐渐加深,透射率降低.
关键词:
NiOx
,
射频溅射
,
电致变色
,
氧分压
冯博学
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何毓阳
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陈冲
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伞海生
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刘化然
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张欣
,
刘金良
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唐为国
,
尹经敏
功能材料
氧化钨和氧化镍是目前研究最多、应用最广的两种电致变色材料.本文详细地介绍了本实验室射频溅射WO3和NiOx薄膜的制备和性能以及以它们为基的夹层式固态电致变色器件的制作和性能.
关键词:
WO3
,
NiOx
,
电致变色
,
射频溅射
,
电解质
