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直流反应溅射制备Niox薄膜及其电致变色机理研究

杨海刚 , 王聪 , 朱开贵 , 刁训刚 , 王怀义 , 王天民

稀有金属材料与工程

采用直流反应溅射在ITO导电玻璃上沉积了NiOx薄膜,研究了O2流量对其光学和电致变色性能的影响,利用XRD、SEM和XPS对薄膜的微结构和成分进行了表征.通过循环伏安特性曲线和可见光透射谱对样品的电化学和电致变色性能进行了研究,并且讨论了NiOx薄膜成分与电致变色性能之间的关系.研究发现反应溅射制备的NiOx薄膜是Ni2+和Ni3+混合价态,颜色为淡棕色,随着薄膜中Ni3+成分增加,薄膜颜色变深,调色范围有减小的趋势.NiOx薄膜表现出阳极电致变色特征,作者认为其电致变色的行为是由于Li+和OH-在薄膜中的注入和拉出引起的Ni2+和Ni3+发生转化所致.

关键词: NiOx薄膜 , 反应溅射 , 电致变色 , 变色机理

NiOx电致变色薄膜结构与性能的X射线研究

钟一叶 , 刘化然 , 张欣 , 冯博学

功能材料

电致变色是指材料的光学性能(光的透射、反射和吸收)通过外加电场或电流的作用,在包括可见光波长的某一波长范围内发生可逆变化的现象.氧化镍薄膜是目前发现的性能最好的电致变色材料之一,采用反应性磁控射频溅射法,利用金属镍作为靶材,在氮与氧混合气体中,通过直流磁控反应溅射法制备氧化镍薄膜,用X射线衍射技术分析其结构,用循环伏安法对NiOx薄膜的电致变色过程进行分析.

关键词: 电致变色 , 射频溅射 , NiOx薄膜 , X射线衍射技术

基于磁控溅射制备纳米微晶NiOx薄膜的方法

王怀义 , 刁训刚 , 王武育 , 郝维昌 , 王聪 , 王天民

材料研究学报 doi:10.3321/j.issn:1005-3093.2009.04.017

使用一种配套于磁控溅射设备的基片液氮冷却装置制备了小颗粒度纳米微晶NiOx电致变色薄膜.当溅射参数完全相同时,借助于对基片的冷却可有效控制并降低NiOx薄膜的晶粒尺度.冷却基片所制备的NiOx薄膜的电致变色性能明显优于室温时制备的薄膜,且该薄膜的O/Ni比率也明显高于室温时制备的NiOx薄膜的O/Ni比率.

关键词: 无机非金属材料 , 磁控溅射 , 纳米微晶态 , 电致变色 , NiOx薄膜

含氧量对NiO_x薄膜光电特性的影响

傅竹西 , 林碧霞 , 韩宪泽 , 廖桂红

材料研究学报

采用直流溅射方法制备了厚度小于0.1μm的NiOx薄膜,研究薄膜的加热氧化及其光电特性,测量了它们的透射光谱和电阻率随薄膜中的氧含量及热处理温度的变化

关键词: NiOx薄膜 , null , null

磁控溅射基片低温冷却法制备NiOx纳米微晶薄膜

王怀义 , 刁训刚 , 王武育 , 杨海刚 , 丁破 , 郝维昌 , 王天民

功能材料

利用自行设计的基片液氮低温冷却装置,用金属Ni靶在Ar+O2气氛反应条件下,利用磁控溅射制备纳米微晶结构NiOx膜的方法,薄膜的XRD谱和扫描电子显微图像(SEM)表明,该方法实现了在溅射参数完全相同的条件,纳米NiOx薄膜结构连续可控、可调节.

关键词: 磁控溅射 , 纳米微晶 , NiOx薄膜

基于磁控溅射制备纳米微晶NiOx薄膜的方法

王怀义刁训刚王武育郝维昌王聪王天民

材料研究学报

使用一种配套于磁控溅射设备的基片液氮冷却装置制备了小颗粒度纳米微晶NiOx电致变色薄膜. 当溅射参数完全相同时, 借助于对基片的冷却可有效控制并降低NiOx薄膜的晶粒尺度. 冷却基片所制备的NiOx薄膜的电致变色性能明显优于室温时制备的薄膜, 且该薄膜的O/Ni比率也明显高于室温时制备的NiOx薄膜的O/Ni比率.

关键词: 无机非金属材料 , magnetron sputtering , nano-microcrystalline state , electrochromism , NiOx film

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