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芯片实验室的制备技术

邹志青 , 周天 , 赵建龙 , 徐元森

功能材料与器件学报 doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2003.04.027

阐述了芯片实验室的材料、微细加工、流体驱动等制备技术的近期研究进展.系统介绍了芯片实验室的各种制备技术,这些技术包括紫外光刻、软刻蚀、LIGA技术、DEM技术、键合等.流体驱动是芯片实验室的动力,对多种新颖的流体驱动设计进行了对比,这些设计包括压力驱动、电渗驱动、电水力驱动、表面张力驱动、离心力驱动等.

关键词: 芯片实验室 , 微全分析系统 , PCR芯片 , 毛细管电泳芯片