褚颖
,
成艳
,
郑玉峰
,
周艺
,
王彦波
,
熊晓玲
,
魏世成
表面技术
doi:10.3969/j.issn.1001-3660.2010.04.001
采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)技术,在聚碳酸酯(PC)树脂片上沉积类金刚石(DLC)薄膜,以获得耐磨性和透光性良好的光学镜片.研究了薄膜的沉积工艺对PC基体镀DLc薄膜耐磨性和透光性的影响.结果表明:PC树脂片上沉积DLC薄膜后,耐磨性有极大的提高,摩擦系数降低了70%左右,显微硬度增加了约30%且随着沉积时间增加而增加,但透光率由约90%降至80%～70%.薄膜样品的耐磨性和透光性与样品的粗糙度、形貌及组成有关.
关键词:
PC树脂
,
DLC薄膜
,
PECVD
,
耐磨性
,
透光性
