张豪
,
温茂萍
,
谭凯元
,
杜自卫
,
田勇
材料导报
在真空气相沉积条件下制备厚度分别为0.32 μm、2.39 μm、7.98 μm和17.11 μm的聚氯代对二甲苯膜(PC膜),采用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)和纳米压痕仪对不同厚度PC膜的结晶度、表面形貌以及力学性能进行了表征与测试.结果表明,随着成膜厚度的增加,聚氯代对二甲苯薄膜的结晶度提高,表面晶粒尺寸增大,结晶形态更加完整,其表面粗糙度、压入模量和压入硬度呈逐渐增大的趋势.而PC膜表面形貌、力学性能的差异又与结晶度密切相关.
关键词:
PC膜
,
厚度
,
结晶度
,
压入模量
,
压入硬度
张豪
,
温茂萍
,
田勇
,
谭凯元
材料导报
介绍了国内外聚氯代对二甲苯薄膜(PC膜)聚集态结构的研究动态,包括PC膜聚集态结构的表征,随沉积条件、温度变化的演变及其与宏观性能的关系.对PC膜聚集态结构的表征主要局限于晶胞结构、细观形貌.在沉积条件中,沉积压力和温度是影响PC膜聚集态结构的主要因素,同时PC膜在高温下会发生晶相转换以及结晶度的变化,而其聚集态结构的差异会对PC膜的透湿性、力学性能及其表面性能产生显著影响.针对PC膜面向微器件的应用,进一步提出在其聚集态结构方面有待深入研究的问题.
关键词:
聚氯代对二甲苯
,
PC膜
,
聚集态
