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王根水 , 于剑 , 赖珍荃 , 孟祥建 , 孙兰 , 郭少令 , 褚君浩 , 李刚 , 路庆华
功能材料
采用改进的溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了PZT50/50铁电薄膜-用X射线衍射表征了薄膜的物相,用原子力显微镜(AFM)表征薄膜的微观形貌,用RT-66A测量了薄膜的铁电特性,获得了具有优良的铁电性能的晶粒尺寸为100nm的PZT50/50铁电薄膜,在20V电压下,P,=31.83μC/Cm2.
关键词: 溶胶-凝胶法 , 前驱体 , PZT50/50 , 铁电薄膜
