朱学林
,
熊瑛
,
刘刚
,
田扬超
,
褚家如
功能材料与器件学报
doi:10.3969/j.issn.1007-4252.2008.02.029
提出了一种简易的基于SU8和PMMA的电泳芯片的制作方法,研究了PMMA基底上SU8胶微管道的光刻和薄膜微电极的lift-off制作工艺,探讨了PMMA材料特性对薄膜微电极和SU8胶光刻的影响,通过热压方法完成芯片的键合封装,实现了一种快速、高质量的电泳芯片制作工艺,同时与电泳芯片的UV-LIGA工艺具有很好的兼容性.
关键词:
SU8
,
PMMA
,
毛细管电泳芯片
